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美打壓爆破口?中芯7奈米出貨竟不用EUV 臺積電老將1句神分析

Beryl Renfred

美打壓爆破口?中芯7奈米出貨竟不用EUV 臺積電老將1句神分析
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中芯低調出貨7奈米晶片,外媒認爲是複製臺積電的7奈米技術。(示意圖/達志影像/shutterstock)

大陸晶圓代工龍頭中芯近年遭受美國政府制裁,無法取得打造先進製程的極紫外光(EUV)微影設備,但外媒報導,中芯採用7奈米制程生產比特幣挖礦晶片,消息一出,引發外界關注,更好奇沒有艾司摩爾(ASML)的EUV,中芯如何做出7奈米晶片。臺積電前研發副總、浸潤式微影之父林本堅之前表示,以中芯來說,不一定要用到高階昂貴EUV機臺,以現有設備應該能做到5奈米制程,但技術研發是否到位很重要。

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研調機構TechInsights報告指出,從比特幣挖礦業者MinerVa旗下產品的SoC晶片,發現採用中芯7奈米來製造,這款晶片2021年7月起就開始出貨,進一步分析,中芯7奈米技術可能是複製臺積電7奈米制程技術。

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美國極力阻止大陸半導體崛起,要求艾司摩爾不要賣給大陸EUV微影設備,如今中芯能使用現有設備生產 7 奈米晶片, 甚至向更先進5奈米制程推進。TechInsights認爲,中芯若提升良率,撐起經濟規模,有機會超越格芯,成爲全球製程技術排名第三的半導體代工廠。

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由於生產設備和材料取得不易,加上華爲遭美方打壓的慘痛教訓,中芯扛着大陸半導體自主化的重責大任,近來行事作風也轉趨低調,製程發展也不再全面公開。

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目前在半導體制造產業中,只有臺積電、三星等導入EUV設備先進製程技術,並進入規模量產,臺積電3奈米預計在2022年下半年量產,而受到美國製裁的中芯,外界對其印象仍停留在14奈米以上節點。

中芯沒有EUV機臺,先進技術就無法推進嗎?Digitimes科技網報導,臺積電前研發副總林本堅認爲,微影技術及產能的投資成本很高,以中芯來說,不一定要用到高階昂貴EUV機臺,以現有設備應該能做到5奈米制程,但技術研發是否到位很重要。

艾司摩爾除了不賣EUV給大陸,美國還施壓要求停止向大陸出售深紫外光(DUV)微影設備。儘管DUV不是最先進的晶片製造設備,但對製造各種電子產品所需要的晶片來說,仍是不可或缺的。

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報導指出,半導體業者表示,DUV機臺多用在成熟製程晶片生產,中芯若想迂迴以DUV多重曝光,來達到與EUV的13.5奈米波長等效,在整體成本與良率上,將付出更高昂代價。

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